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晶圓清洗機
設備同時搭載3種噴嘴（氣體噴嘴、二流體噴嘴、一流體噴嘴），通過智能切換，可不停機切換清洗類型，除了標準規(guī)格的高壓清洗噴嘴之外，還可選擇水汽二流體清洗、清洗液清洗、潔凈氣體噴淋、甩干
晶圓清洗
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